互補金氧半-微機電系統的製程
一種與互補金氧半完全相容的微機電系統多計劃晶片的製程,包括在一晶片表面上塗佈一層厚光阻,圖案化該光阻以定義一微加工區域,以及在該微加工區域中進行一微加工以形成懸浮微結構。
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